Los chucks de vacío de cerámica poroso , también conocidos como mesas de chuck de cerámica porosa, están diseñados con cerámica microporosa avanzada y marcos de alta resistencia. Su estructura única ofrece una excelente estabilidad y rendimiento para los procesos industriales exigentes.
Cuatro ventajas clave
- Alta planitud y paralelismo para la alineación de precisión
- Estructura densa y uniforme con resistencia mecánica superior
- Fuerte permeabilidad al aire con tamaños de poros que van desde 5 a 200 μm y porosidad del 30-50%
- Fuerza de adsorción consistente, con variación de presión dentro de ± 3 kPa en un área de 10 × 10 mm
Campos de aplicación
Los chucks de vacío de cerámica poroso se adoptan ampliamente en:
- Máquinas para cubitar a la oblea
- Equipo de adelgazamiento de obleas
- Sistemas de perforación láser
- Procesos de impresión de precisión
- Plataformas de flotación de aire
- Sistemas de inspección de obleas
Al combinar la alta precisión, la durabilidad y la adsorción estable, los chucks de vacío cerámico poroso se han convertido en un componente esencial en las industrias de fabricación de semiconductores y ingeniería de precisión. Continúan apoyando las necesidades de producción avanzadas en la electrónica y las aplicaciones de alta tecnología.
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