ช็อตสูญญากาศเซรามิกที่มีรูพรุน หรือที่เรียกว่าโต๊ะชัคเซรามิกที่มีรูพรุนได้รับการออกแบบด้วยเซรามิก microporous ขั้นสูงและเฟรมความแข็งแรงสูง โครงสร้างที่เป็นเอกลักษณ์ของพวกเขามอบความมั่นคงและประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมสำหรับกระบวนการอุตสาหกรรมที่ต้องการ
สี่ข้อได้เปรียบที่สำคัญ
- ความเรียบสูงและความเท่าเทียมกันสำหรับการจัดตำแหน่งที่แม่นยำ
- โครงสร้างที่หนาแน่นและสม่ำเสมอด้วยความแข็งแรงเชิงกลที่เหนือกว่า
- การซึมผ่านของอากาศที่แข็งแกร่งด้วยขนาดรูขุมขนตั้งแต่ 5–200 μmและรูพรุน 30–50%
- แรงดูดซับที่สอดคล้องกันโดยมีการเปลี่ยนแปลงความดันภายใน± 3 kPa ในพื้นที่ 10 × 10 มม.
ฟิลด์แอปพลิเคชัน
ลูกโซ่สุญญากาศที่มีรูพรุนจะถูกนำมาใช้อย่างกว้างขวางใน:
- เวเฟอร์เครื่องแต่งกาย
- อุปกรณ์ผอมบางเวเฟอร์
- ระบบขุดเจาะเลเซอร์
- กระบวนการพิมพ์ที่แม่นยำ
- แพลตฟอร์มการลอยอากาศ
- ระบบตรวจสอบเวเฟอร์
ด้วยการรวมความแม่นยำสูงความทนทานและการดูดซับที่มั่นคงชุปสุญญากาศที่มีรูพรุนได้กลายเป็นองค์ประกอบสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอุตสาหกรรมวิศวกรรมที่แม่นยำ พวกเขายังคงสนับสนุนความต้องการการผลิตขั้นสูงในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และเทคโนโลยีขั้นสูง
สำหรับข้อมูลเพิ่มเติมหรือตัวเลือกการปรับแต่ง: เซมิคอนดักเตอร์หุ่นยนต์แขน /เซมิคอนดักเตอร์เซรามิกแขนหุ่นยนต์ /เวเฟอร์จัดการแขนเซรามิก