Mikro gözenekli seramik vakum aynaları , inceltme, şekillendirme, kinleştirme, öğütme ve temizleme dahil olmak üzere yarı iletken gofret işlemede yaygın olarak kullanılır. Hassas işyeri olarak hareket eden bu armatürler, kritik üretim adımları boyunca gofretleri güvenli bir şekilde yerinde tutar.
Chuck yüzeyi, yüksek sıcaklıkta sinterleme yoluyla düzgün bir gözenekli veya içi boş bir yapının oluşturulduğu alümina seramikten yapılmıştır. Negatif basınç uygulayarak, sistem gofretleri ve diğer bileşenleri sabit bir şekilde sabitlemek için kararlı vakum emme üretir.
Taban ve çerçeve, işlem gereksinimlerine bağlı olarak alüminyum alaşım, paslanmaz çelik veya seramikten üretilebilir.
Temel Avantajlar:
- Yüksek sertlik ve dayanıklılık
- Hızlı ısı dağılımı
- Mükemmel aşınma direnci
- Güçlü asit ve alkali korozyon direnci
- Yüksek düzlük, paralellik ve düzgün mikro taşlama dağılımı
- Güvenilir ve hatta emme performansı ile pürüzsüz yüzey
Buna ek olarak, standart olmayan tasarımlar, çeşitli yarı iletken uygulamalarda esneklik sağlayarak belirli müşteri gereksinimlerini karşılayacak şekilde özelleştirilebilir.
Daha fazla bilgi veya özelleştirme seçenekleri için: Yarıiletken robotik kol /yarı iletken seramik robotik kol /gofret taşıma seramik kolu