다공성 세라믹 척 테이블로도 알려진 다공성 세라믹 진공 척은 고급 미세 다공성 세라믹과 고강도 프레임으로 설계되었습니다. 그들의 고유 한 구조는 산업 공정을 요구하는 탁월한 안정성과 성능을 제공합니다.
네 가지 주요 장점
- 정밀 정렬을위한 높은 평탄성과 평행
- 우수한 기계적 강도를 갖는 밀도가 높고 균일 한 구조
- 5-200 μm 범위의 기공 크기와 30-50%의 다공성을 갖는 강한 공기 투과성
- 10 × 10 mm 영역에서 ± 3 kPa 내의 압력 변화가있는 일관된 흡착력
응용 프로그램 필드
다공성 세라믹 진공 척은 다음과 같이 널리 채택됩니다.
- 웨이퍼 다이 싱 머신
- 웨이퍼 얇은 장비
- 레이저 드릴링 시스템
- 정밀 인쇄 프로세스
- 에어 플로팅 플랫폼
- 웨이퍼 검사 시스템
높은 정밀도, 내구성 및 안정적인 흡착을 결합함으로써 다공성 세라믹 진공 척은 반도체 제조 및 정밀 엔지니어링 산업에서 필수 구성 요소가되었습니다. 전자 및 첨단 기술 응용 프로그램에서 고급 생산 요구를 계속 지원합니다.
자세한 정보 또는 사용자 정의 옵션 : 반도체 로봇 암 /반도체 세라믹 로봇 암 /웨이퍼 처리 세라믹 암