미세 다공성 세라믹 진공 척은 얇아지는, 형성, 다이 싱, 연삭 및 청소를 포함한 반도체 웨이퍼 처리에 널리 사용됩니다. 정밀 작업자 역할을하는이 비품은 중요한 생산 단계에서 웨이퍼를 안전하게 고정시킵니다.
척 표면은 알루미나 세라믹으로 만들어졌으며, 여기서 균일 한 다공성 또는 중공 구조는 고온 소결을 통해 형성됩니다. 음압을 적용함으로써, 시스템은 안정적인 진공 흡입을 생성하여 웨이퍼 및 기타 구성 요소를 확고하게 고정시킨다.
베이스 및 프레임은 공정 요구 사항에 따라 알루미늄 합금, 스테인리스 스틸 또는 세라믹에서 제조 할 수 있습니다.
주요 장점 :
- 높은 경도와 내구성
- 빠른 열 소산
- 우수한 내마모성
- 강산 및 알칼리 부식성
- 높은 평탄성, 병렬 처리 및 균일 한 마이크로 포어 분포
- 신뢰할 수 있고 흡입 성능을 갖춘 부드러운 표면
또한 비표준 디자인은 특정 고객 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의하여 다양한 반도체 애플리케이션에서 유연성을 보장 할 수 있습니다.
자세한 정보 또는 사용자 정의 옵션 : 반도체 로봇 암 /반도체 세라믹 로봇 암 /웨이퍼 처리 세라믹 암