Os chucks porosos de vácuo de cerâmica , também conhecidos como mesas de chuck de cerâmica porosa, são projetados com cerâmica microporosa avançada e quadros de alta resistência. Sua estrutura única oferece excelente estabilidade e desempenho para exigir processos industriais.
Quatro vantagens principais
- Alta robustez e paralelismo para alinhamento de precisão
- Estrutura densa e uniforme com força mecânica superior
- Forte permeabilidade ao ar com tamanhos de poros variando de 5 a 200 μm e porosidade de 30 a 50%
- Força de adsorção consistente, com variação de pressão dentro de ± 3 kPa em uma área de 10 × 10 mm
Campos de aplicação
Chucks porosos de vácuo de cerâmica são amplamente adotados em:
- Máquinas de corte de bolacha
- Equipamento de desbaste de bolacha
- Sistemas de perfuração a laser
- Processos de impressão de precisão
- Plataformas flutuantes do ar
- Sistemas de inspeção de wafer
Ao combinar alta precisão, durabilidade e adsorção estável, os jogadores porosos de vácuo de cerâmica tornaram -se um componente essencial nas indústrias de fabricação de semicondutores e engenharia de precisão. Eles continuam a apoiar necessidades avançadas de produção em aplicações eletrônicas e de alta tecnologia.
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