Os chucks de vácuo de cerâmica microporosos são amplamente utilizados no processamento semicondutor de bolacha, incluindo desbaste, modelagem, cubos, moagem e limpeza. Atuando como tábuas de trabalho de precisão, esses acessórios mantêm as bolachas com segurança no local durante as etapas críticas de produção.
A superfície do chuck é feita de cerâmica de alumina, onde uma estrutura porosa ou oca uniforme é formada através da sinterização de alta temperatura. Ao aplicar pressão negativa, o sistema gera sucção estável a vácuo para corrigir as bolachas e outros componentes firmemente em posição.
A base e a estrutura podem ser fabricadas a partir de liga de alumínio, aço inoxidável ou cerâmica, dependendo dos requisitos de processo.
Principais vantagens:
- Alta dureza e durabilidade
- Dissipação rápida de calor
- Excelente resistência ao desgaste
- Forte resistência ao ácido e à corrosão alcalina
- Distribuição de alto nível, paralelismo e microporos uniformes
- Superfície lisa com desempenho confiável e até de sucção
Além disso, designs não padrão podem ser personalizados para atender aos requisitos específicos do cliente, garantindo flexibilidade em vários aplicativos semicondutores.
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